6 厘米 x 30 厘米 DC 离子源

适用于大/宽基底或大批量基底的线性源

Veeco 经过验证的线性有栅 DC 离子源非常适用于利用大/宽独立基质或大批量基质的具有高度均匀性、可靠性的离子束沉积工艺平台。它们是适用于线性或柱状夹具的优秀离子源。

• 具有与 Veeco 世界一流的圆形离子束源同样的创新设计、质量和可靠性
• 提供均匀的等离子体和很高的电流密度
• 支持的离子束能量范围很宽（从 50 到 2000 eV），且每个离子束源的额定束电流高达 500 mA
• 多种电源选项允许束电流高达 800 mA