低温单丝源可提供稳定、持续的高蒸气压材料通量。因为它的低热质量,其低于 750°C 的性能超过了传统源。这种源封装在一种热屏蔽包装内,可在 100-750°C 的工作温度下展现极佳的源响应能力和稳定性。温度稳定性对于高蒸气压材料至关重要,因为即使是很小的温度变化也会对通量造成很大的影响。
该源采用了“改良型”单丝设计。它通过单丝实现了“热边”加热,单丝可均匀地加热坩埚底部,但顶部包含额外的丝密度,以补偿孔处的辐射热损耗。热边加热可消除坩埚孔的材料冷凝,从而导致源闭塞和束遮蔽。
低温单丝源可为通用应用提供良好的性能和高性价比。对于高要求应用,或者需要大源容量时,推荐选择低温双丝或低温 SUMO 源。
性能和优势 低温单丝源采用精准的定制设计,旨在满足蒸发高蒸气压材料的要求。