LSA 101 激光尖峰退火系统

Veeco 的 LSA101 系统在全球领先的 IDM 和代工厂安装，是大批量生产从 40 纳米到 14 纳米节点的先进逻辑器件的首选技术。LSA 101 的扫描技术基于 Veeco 的可定制 Unity Platform™ 构建，提供了均匀性和低压处理的根本优势。LSA101 系统实现了关键的毫秒退火应用，使客户能够保持精确、有针对性的较高加工温度，从而实现更高的器件性能、更低的泄漏和更高的良品率。

标准 LSA101 配置使用单个窄激光束来加热晶圆表面，使其从衬底温度达到峰值退火温度。为了应对日益复杂的工艺要求，Veeco 开发了双光束技术，以扩大非熔体激光退火的应用空间，并采用第二个低功率激光束以实现低温加工。使用双光束时，加入第二个更宽的激光束来预热晶圆。双光束系统在调整温度和应力曲线方面具有灵活性。