离子束蚀刻是在大批量生产环境中制造先进薄膜器件的成熟技术。然而,研发和试生产环境不断创新下一代 MEMS、磁性传感器和数据存储设备,这些设备也依赖于具有业界最佳性能规格的高性能蚀刻系统。Veeco 目前已经在全球范围内安装了超过 300 套离子束蚀刻系统,为薄膜器件应用提供支持。
全新 Lancer™ 离子束蚀刻 (IBE) 系统专为智能手机、自动驾驶汽车和其他可实现连接性、功能性和移动性的“物联网”设备中的下一代电子设备的开发和生产而设计。
Lancer 系统在研发和生产环境中提供卓越的设备质量,包括: