Veeco 磷阀式裂解器温度控制器适用于现有和新的磷阀式裂解器，可确保对因环境条件变化（例如空气温度或水冷温度）而造成的白色区域温度不稳定性进行精确、稳定的控制。温度控制器的工作原理是将白色区域温度恒定保持在 ±0.05°C 以内，从而使得磷通量稳定性 <±1%。此外，相对于手动设置白色区域空气流量的情况而言，温度控制器还可让用户正确地设置白色区域的温度，从而大大简化阀式裂解器工艺设置。

• 将磷白色区域温度保持在 ±0.05°C 内，将流量保持在 ±1% 内
• 与所有 Veeco 磷阀式裂解器兼容
• 消除由于水温、空气温度和气流造成的磷流量不稳定性