单件式 UNI-Block® 无铟基底承载座可实现在同一承载环中快速安装全部或部分基底,最大程度地减少颗粒生成。整个组装过程可以在 30 秒之内完成,减少基底在环境中的暴露。不需要安装线或夹卡,而且基质在任何时候都向下,减少了颗粒污染。提供适合于部分晶片和扩散器板的配置,并提供可看到晶片背面的透光度。
- 基底安装非常方便
- 最大限地地减少颗粒污染
- 卓越的温度均匀度
- 兼容原位监测
- 兼容完整和部分基板
- 直接取代原厂设计
- 无铟安装选项
UNI-Block 基质承载座采用单片钼加工,提供了易用性并使蚀刻十分方便。