掺杂剂

如果您想精确地控制分子束外延 (MBE) 掺杂剂成分的流量,或用于无需热裂解的气体,Veeco 掺杂剂产品无疑是您的理想选择。

使 MBE 掺杂剂成分具有一致的性能
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将产能提升三倍以上,并提高独立开动每个坩埚上的快门的能力……
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在无预裂解的情况下低成本地引入源气体
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