离子束溅镀

当材料至关重要时,您的高精度、高纯度薄膜层设备将通过我们的离子束沉积 (IBD) 系统实现最大的均匀性和可重复性。

溅射系统

当材料至关重要时,您的高精度、高纯度薄膜层设备将通过我们的离子束沉积 (IBD)系统实现最大的一致性和可重复性。

Veeco 的 SPECTOR Loadlock 系统可以使沉积时间少于批量工具通常所需的预处理时间,从而轻松实现产量的成倍增长。
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使用 Veeco 的 SPECTOR® 离子束溅镀 (IBD) 光学涂层系统,可实现更高的精度和薄膜工艺灵活性。
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利用 Veeco 的 SPECTOR® 大范围行星式离子束沉积系统,可将无可比拟的离子束薄膜品质与接近于电子束系统的批次规模完美地结合在一起。
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利用 Veeco 的 Quest 宽带光学监控器获得改进的可重复性和卓越的工艺控制。其功能允许控制……
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