MBE 组件

MBE 组件

Veeco 严格按照操作标准，并以实现高度可靠、灵活的性能为目标，可提供各种 MBE 组件。

UNI-Bulb RF 等离子源自动调节器

Veeco RF 等离子源自动调节器可自动调整和保持最佳等离子源状态，无需……
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电源解决方案

行业标准电源
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磷回收系统 (PRS) 和温度控制器

使用磷回收系统 (PRS)，可在为分子束外延 (MBE) 系统通风以进行维护和/或源重新装载之前安全地捕获及中和白磷……
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UNI-Block MBE 基底承载座

一体式 UNI-Block 无铟基底承载座，可与全部或部分晶片配合使用。
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基底加热器

Veeco 基质加热器针对特定温度和生长环境定制，可优化加热灵活性。基质加热器可用……
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气体源交付系统

Veeco 的气体交付系统可确保精确控制气体。它可互锁和监控惰性、危险和/或……
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CBr4 气体流量控制系统

将 CBr4 气体引入超高真空 (UHV)环境进行碳掺杂这一方法不仅高效而且安全。
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MBE 加热式视口

Veeco 的加热式视口可避免在分子束外延 (MBE) 系统中覆盖光学端口。
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MBE 坩埚

Veeco 的分子束外延 (MBE) 泄流室的坩埚范围广泛，可最大限度地提高源充电容量。
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适用于 MBE 系统的生长控制和计划软件

针对研究和生产分子束外延 (MBE) 系统的全面集成软件控制解决方案。
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磷阀式裂解器温度控制器

借助磷阀式裂解器温度控制器，可确保对因环境不断变化而造成流量不稳定的情况进行精确、稳定的……
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