专利 Veeco 砷阀式裂解器可彻底改变 MBE 固态源。它被广泛应用于全球数以百计的 MBE 系统中，是研发和生产的行业标准砷源。Veeco 阀式裂解器的创新设计提供了气体源的便利性和固态源的安全性。固态砷在大容量坩埚内加热，以产生束通量。难熔金属针阀调节进入独立的加热裂解区的气流。可以对裂解区温度进行调整，以产生 As4 或 As2 束。

• 获得专利的设计，有将近 1000 种现场应用
• 先进的流量建模功能可根据系统的几何形状和使用情况定制喷嘴设计
• 喷嘴设计优化了材料利用和流量均匀性
• 近乎瞬时响应的机械流量控制
• 具有比标准源低的操作成本

利用新增加的增强功能，Mark V 砷阀式裂解器加入了一个喷嘴，该喷嘴可提供卓越的流量均匀度和减少材料浪费。这种在材料利用方面的改进有助于：

• 节省材料成本
• 延长炉龄期
• 缩短系统清洁时间
• 减少有害废物生成
• 降低记忆效应
• 降低微粒水平和减少剥落

减少系统窗口涂层 Veeco 砷阀式裂解器提供可与所有 MBE 系统兼容的各种尺寸。在许多情况下，有多种尺寸可供选择，以满足砷使用率较高的应用。喷嘴专为特定的 MBE 系统定制设计，以在晶片或滚筒上实现卓越的流量均匀度。Veeco SMC-II 自动阀门定位器适用于该源，以实现针阀的可靠、自动化控制。

性能和优势

砷阀式裂解器使用针阀实现接近瞬时的流量调节和完整的流量关断，以优化对生长流程的控制。源可以在操作温度下持续闲置，而无不会耗尽炉料。利用机械通量控制（而不是用于传统开放式源的热控制），炉料容量可在不限制源的响应能力的情况下被任意放大。

经验证的优势包括：

• 加强对生长流程的控制
• 提高生产力
• 更长的生长炉龄期
• 减少消耗
• 更彻底的炉料除气
• 消除意外加入异质结构的情况
• 更好地利用原位诊断工具