Veeco 的原子层沉积 (ALD) 研究系统由 ALD 科学家设计，并且专为最大化实验灵活性和价值而设计。通用前体输送系统让您可以使用任何前体端口中的固体、液体或气体化学品。有许多选项可供选择，包括臭氧发生器、原位监测和各种配置。我们的原子层沉积 (ALD) 科学家团队一如既往地随时为您解答配方开发和薄膜特性问题。超过 2500 篇已发表的学术论文对我们的 Savannah® 热原子层沉积 (ALD) 系统和 Fiji® 等离子原子层沉积 (ALD) 系统进行了研究。
我们的 Savannah® 系列是原子层沉积 (ALD) 研发的标准，在全球已安装超过 300 套系统。Savannah® 将易用性和卓越的实验灵活性融于紧凑、价格低廉的套装中。
如果您正在寻找价格合理而可靠的原子层沉积 (ALD) 研究系统，那么我们的 Savannah® 系列是理想的起点。
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当您的需求更加高端而且您需要更多的实验灵活性时，Fiji 是能满足您需求的系统。在全球范围内已安装超过 100 套系统。Fiji 是模块化的，可根据您的特定需求进行定制。
Fiji® 配备等离子发生器，可实现等离子体增强原子层沉积 (ALD)。可为洁净室兼容性和/或可选装载锁进行配置。
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